用于消除光學晶體超精密加工亞表面損傷檢測樣品安裝誤差的方法,本發明涉及用于消除光學晶體亞表面損傷檢測樣品安裝誤差的方法。本發明為了解決光學晶體超精密加工亞表面損傷無損檢測中存在樣品安裝誤差問題。本發明包括:一:安裝被檢測光學晶體;二:調整X射線源初始位置;三:使X射線與被檢測光學晶體表面之間形成實際入射角ω′并固定;四:進行檢測;五:得到不同實際入射角ω′條件下X射線與檢測表面和亞表面晶體結構發生衍射的特征譜線信息;六:計算樣品安裝角度誤差δ;七:根據得到的δ修正實際入射角ω′,消除光學晶體超精密加工亞表面損傷檢測過程中由于樣品安裝造成的誤差。本發明用于光學晶體表面損傷檢測領域。
聲明:
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