本發明公開了一種基于透過率的在線檢測CdS薄膜厚度的系統,包括:單色光源發生器、光強檢測系統、若干傳感器、控制器及能將透過率數據轉換為膜厚數據的計算機;傳感器用于檢測CdS薄膜的位置,并將檢測發送信號發送給控制器;控制器接收到傳感器信號后,控制單色光源發生器及光強檢測系統工作;單色光源發生器及光強檢測系統用于在線檢測CdS薄膜的透過率;光強檢測系統將檢測數據傳輸至計算機,獲得膜厚數據。本發明采用CdS薄膜吸收敏感波段,檢測分辨率能夠達到納米級別。此外,該系統還具有無損、檢測速度快等特征,能夠嵌入生產線。
聲明:
“基于透過率的在線檢測CdS薄膜厚度的系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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