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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
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2025年電解鋁行業形勢分析
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鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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> p型摻雜6H-碳化硅晶體的無損判定方法

p型摻雜6H-碳化硅晶體的無損判定方法

1170 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:58:00

本發明涉及一種p型摻雜6H?碳化硅晶體的無損判定方法，使用變溫拉曼光譜，對待測的p型摻雜6H?SiC晶體樣品進行光譜測量，探測光的入射方向為沿SiC晶片的（0001）方向，變溫測量為室溫到673K溫度范圍，溫度間隔為50K。分析對比載流子敏感的A1縱向光學模，根據其強度及峰位的變化，可以判斷樣品是否為p型摻雜。有益效果是采用基于光譜分析法，對p型Al摻雜6H?碳化硅晶體的載流子濃度進行檢測和分析，無需像霍爾測量一樣的鍍電極，對待測樣品無損傷，檢測過程可實現自動化和程序控制，可對出廠產品進行全面檢驗，也可應用于目前市場存在的2、3、4、6英寸完整晶圓產品檢驗。

登錄解鎖全文

聲明：

“p型摻雜6H-碳化硅晶體的無損判定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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無損檢測

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:141

2 取、制樣安全淺析

下載:133

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:110

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:101

5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:98

6 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:98

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:95

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:94

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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