本發明提供一種磁輥表面粗糙度的無損測量裝置,該裝置包括由激光器、透鏡、起偏器、偏振分束器、平面反射鏡、1/2波片、分束器、1/4波片、聚焦物鏡組成的光學部分、由光功率計、微機及顯示界面組成的光探測部分及由支架和轉動裝置組成的機械部分。本發明采用兩光束共光路、同心聚焦掃描可實現表面粗糙度的絕對測量,使用一個1/2波片改變一路光束的偏振態,避免了傳統測量系統中光路具有可逆性的問題,保證了系統的穩定性,使用一個1/4波片使接收端的光束偏振態方向一致,使干涉信號可見度最大。該系統光路結構簡單,且測量精度高。
聲明:
“磁輥表面粗糙度的無損測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)