本發明涉及激光技術和納米技術測量領域,特指一種微光機電系統膜基耦合結構光聲性能無損定量測試方法及裝置。其適用于具有界面結合的各類微納米薄膜、器件與宏觀、介觀或微觀材料相耦合系統,如宏觀基體上附著的分子自組裝膜、雙層分子自組裝膜等的光聲性能無損定量測試。其將超快短脈沖激光傳輸到微光機電系統中的膜基耦合試樣界面,激發得到微尺度界面波,通過對接收的微尺度界面波耗散特性分析,通過測定界面波耗散特征量定量表征界面粘附質量,實現針對不同的微納耦合體系定量研究其尺度效應對界面波耗散特性的影響,考察膜基體系厚度方向尺度效應對彈性參數和界面粘附質量的作用規律,從而實現面向微光機電系統的膜基彈性參數和界面耦合質量無損、非接觸、定量測試。
聲明:
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