本實用新型涉及一種無損檢測MEMS流量傳感器,包含設置在管道一側的紅外輻射單元、設置在管道另一側的紅外接收單元;所述紅外輻射單元包括設置在管道管壁上用于向外輻射紅外波的黑體、設置在黑體外側用于給黑體加熱的加熱電阻、設置在加熱電阻周圍且通過兩條導線與加熱電阻連接的電源;所述紅外接收單元為MEMS紅外熱電堆傳感器陣列,且接收端正對黑體,用于吸收黑體輻射出的紅外波,并轉化為直流電壓;本實用新型安裝在管道外部,實現了對管道無損傷測量其內部的流速大小,在工作時受環境干擾小、熱污染低,具有更高的準確度,且由于不直接接觸流體,無需要額外的防水、密封要求,對管道的內部流體無影響,具有成本低、安裝方便等優點。
聲明:
“無損檢測MEMS流量傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)