本發明公開了一種熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點復合修復方法,包括損傷點尺寸測量、飛秒激光改性、溶液腐蝕和殘液清洗的步驟。采用以上技術方案的熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點復合修復方法,先利用飛秒激光改性裝置對熔石英元件需要去除的部分勾勒輪廓改性,再利用化學溶劑進行去除,不僅能夠快速地去除包含損傷點的熔石英塊體,完成對損傷點的復合修復,具有高效穩定的特點,而且可以避免熱應力的殘留,不影響熔石英元件的閾值。
聲明:
“熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點復合修復方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)