<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法

            用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法

            686   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:56:56
            本發明屬于半導體技術領域,具體涉及一種用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法,該結構包括探測器芯片基板和銦柱;銦柱設置在基板上;制作方法包括:用蒸發?光刻的方式制作一層與銦高浸潤的UBM金屬打底層;在UBM打底層上旋轉涂布一層高分子聚合物掩模并用退火的方式固化;將高分子掩模層蓋住UBM打底層的區域刻蝕掉,形成銦柱模型孔;采用雙層厚膠剝離的方式在回溶區域上制作一塊底面銦層;去掉銦柱表面氧化層后,通過在有機溶劑中高溫加熱的方式進行回溶整形;最后用化學清洗劑將下面的高分子聚合物去掉,形成銦柱;本發明通過調節銦柱模型孔的大小和深度,獲得形貌、大小、高度可控的銦柱。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>