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            薄膜微帶電路的制備工藝

            951   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:56:51
            本發明提供一種薄膜微帶電路的制備工藝,它包括有以下步驟:1)、清洗:基板表面的污漬清洗干凈;2)、濺射:通過物理氣相沉積的方法將金屬薄膜制備在基板表面;3)、光刻:通過勻膠、曝光、顯影將薄膜電路圖形從掩模版上以光刻膠的形式轉移到基板表面;4)、蝕刻:采用化學腐蝕的方法去除不需要的金屬薄膜,最終在基板上留下微帶電路;5)、表面處理:利用電鍍的方法在薄膜電路表面制備金層;6)、劃片:用切割機將制備在基板上的薄膜電路切割成單個薄膜電路基片;測試即成。本方案制備的薄膜電路參數范圍寬、精度高、溫度頻率特性好,批次一致性好、可靠性高。
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            “薄膜微帶電路的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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