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            > 硅薄膜異質結太陽電池的制備方法

            硅薄膜異質結太陽電池的制備方法

            786   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:56:36
            一種用于半導體技術領域的硅薄膜異質結太陽 電池的制備方法,襯底清洗:采用半導體清洗工藝進行襯底的 表面初清洗,再將襯底放在去離子水中用超聲波清洗,用去離 子水沖洗數次,氮氣吹干;制備本征非晶硅層:用熱絲化學汽 相沉積技術制備本征非晶硅層,鎢絲溫度用光學高溫計測量, 加熱器與樣品的溫度分別由兩個熱電偶測定,用電子溫度控制 器控制溫度,在襯底表面反應生長而成薄膜;在本征非晶硅薄 膜上再沉積一層發射層;正、背面電極的形成:用濺射工藝在 電池的正、背面形成電極;最后進行真空熱退火工藝。本發明 薄膜具有光照穩定性,在AM1.5, 100mW/cm2標準光強下,獲得的 硅薄膜的光電導增益可達106, 基于此薄膜的非晶硅和晶硅異質結太陽電池的效率達12.5%。
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