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2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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SiC外延層的制備方法及裝置

981 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:23:07

本發明提供一種SiC外延層的制備方法及裝置，其中制備方法包括以下步驟：提供一SiC襯底，并將SiC襯底放入一反應腔室中；向反應腔室通入反應氣體及摻雜氣體，使反應氣體及摻雜氣體吹向SiC襯底表面，且反應氣體及摻雜氣體的氣流方向垂直于SiC襯底表面；加熱SiC襯底，并采用化學氣相沉積法在SiC襯底表面生長SiC外延層；采用光波監測系統監測正在生長的SiC外延層的摻雜濃度，并根據監測到的摻雜濃度控制通入的摻雜氣體的氣體流量。本發明將反應氣體及摻雜氣體垂直吹向SiC襯底表面，并可采用光波監測系統實時監測摻雜濃度，從而在所述SiC襯底表面獲得厚度均勻性及摻雜濃度均勻性均較高的SiC外延層，實現對摻雜濃度的精確控制，獲得高產率、高性能的SiC外延層。

登錄解鎖全文

聲明：

“SiC外延層的制備方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:141

2 取、制樣安全淺析

下載:133

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:110

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:101

5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:98

6 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:98

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:95

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:94

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

下載:90

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