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            三元系弛豫鐵電薄膜材料及其制備方法和應用

            1089   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 00:50:02
            本發明涉及一種三元系弛豫鐵電薄膜材料及其制備和應用,材料的化學組成為(1?x?y)Pb(In1/2Nb1/2)O3?yPb(Mg1/3Nb2/3)O3?xPbTiO3?zMn,其中x=0.20~0.40,y=0.18~0.60,z=0.003~0.03,包括以下步驟:(a)將MnO2、In2O3、Nb2O5、MgO、PbO和TiO2混合,后依次進行球磨、烘干、過篩、預燒、造粒、壓片和燒結,得到Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材;(b)將SrTiO3單晶依次置于丙酮、乙醇和去離子水中進行超聲洗滌,后干燥,得到襯底;(c)以激光濺射的方式,將SrRuO3陶瓷靶在襯底上進行沉積處理,后進行退火處理,得到底電極;(d)以激光濺射的方式,將Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材在底電極有上進行沉積處理,后進行退火處理,得到薄膜材料。與現有技術相比,本發明的薄膜具有純鈣鈦礦結構,且具有優異的鐵電和壓電性能,以及較高的居里溫度和三方?四方相變溫度。
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