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Ga₂O₃薄膜及其制備方法

774 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:20:15

本發明提供了一種Ga2O3薄膜的制備方法，包括以下步驟：以有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣作為氧源，利用金屬有機化學氣相沉積法在襯底表面進行沉積，降溫后得到Ga2O3薄膜；在Ga2O3薄膜生長的過程中間歇補充有機鎂化合物。本申請還提供了上述制備方法所制備的Ga2O3薄膜，Ga2O3薄膜中摻雜微量鎂。本申請通過對制備Ga2O3薄膜中有機鎂化合物的通入時機和通入時間的控制，實現了微量鎂摻雜的Ga2O3薄膜的制備，其為實現高性能日盲紫外光探測器提供了便捷有效的手段。

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聲明：

“Ga₂O₃薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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