本發明提供了式[(ML3)xA]y所示的稀土化合物,其中,M為稀土金屬和釔的一種或多種金屬,L是β-二酮型配位體,A是聚醚或聚胺,x和y分別是1或2。這些化合物作為氧化層化學氣相沉積(CVD)的前體可以用于如超導體、壓電、微波、燃料電池、輻射檢測器、光電子和催化等領域。它們對于空氣和濕氣穩定、熔點低、在低溫下真空揮發且殘留量很小、并給出高質量的無氟污染的氧化物沉積層。這些化合物在許多有機溶劑中具有良好的溶解性,并可望用作為潤滑油添加劑并用在燃料中。
聲明:
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