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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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高熵能源材料
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氫氣傳感器芯體用介質材料、氫氣傳感器芯體及其制備方法和應用

963 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:04:28

本發明公開了一種氫氣傳感器芯體用介質材料、氫氣傳感器芯體及其制備方法和應用，氫氣傳感器芯體用介質材料為非晶碳；氫氣傳感器芯體依次包括基片、由非晶碳構成的介質層和氫氣敏感層；制備方法包括以下步驟：（1）先清洗基片表面，再去除基片表面的自然氧化層；（2）在經過步驟（1）處理后的基片表面制備非晶碳薄膜；（3）在非晶碳薄膜表面上制備氫氣敏感層。非晶碳成分簡單，化學性質穩定，特別適合制備高穩定性、長壽命的電子器件。本發明的氫氣傳感器芯體所制備的MOS電容薄膜氫氣傳感器能夠檢測到的氫氣濃度下限達10ppm，而且響應時間和脫氫時間小于25s。本發明的氫氣傳感器芯體的制備方法，工藝簡單，材料及加工成本低廉。

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聲明：

“氫氣傳感器芯體用介質材料、氫氣傳感器芯體及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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