本公開提供了一種集成CMOS?MEMS的高靈敏諧振式傳感器,包括:微流道諧振腔、MEMS懸臂梁結構、惠斯通電橋檢測電路、CMOS信號處理電路;諧振式傳感器集成了MEMS懸臂梁結構和CMOS信號處理電路,惠斯通電橋檢測電路輸出信號在CMOS信號處理電路內閉環傳遞并激勵MEMS懸臂梁結構諧振;通過獲取MEMS懸臂梁結構在吸附待測物前后的頻率變化來計算待測物的質量。本公開具有CMOS?MEMS集成度高、靈敏度高、可大規模制作等特點,相比于同類MEMS器件和電路模塊,占用面積減少了近90%,因此,非常適用于便攜式檢測,尤其是可穿戴系統,能夠廣泛應用于生物醫療、食品安全、化學化工、航天國防等領域。
聲明:
“集成CMOS-MEMS的高靈敏諧振式傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)