<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 微型皮拉尼計

            微型皮拉尼計

            1113   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:33:29
            一種微型皮拉尼計,屬于微機電系統的真空度測量器件,克服現有微型皮拉尼計體積大、靈敏度不夠高的問題。本發明在硅襯底上具有凹槽,凹槽表面架有隔熱層,隔熱層表面覆蓋絕緣層,絕緣層上濺射有加熱體,加熱體的兩端濺射有金屬電極;所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬;所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅;所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發明體積小、重量輕而且性能穩定,加熱體采用金屬鉑,它的線性度好、性能穩定、靈敏度高、有良好的化學穩定性;其制造工藝簡單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝以及微型腔體中進行真空度實時檢測。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “微型皮拉尼計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>