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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產學研合作論壇”2023-08-02
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?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
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基于解析法制備定原子比的摻雜Ge2Sb2Te5相變薄膜的方法

817 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:33:29

本發明公開一種基于解析法制備定原子比的摻雜Ge2Sb2Te5相變薄膜的方法，根據摻雜原子比計算得到兩靶的沉積厚度比，進而確定兩靶的濺射功率，制備形如Ax(Ge2Sb2Te5)100?x的薄膜，其中A為摻雜元素，x為待制備摻雜薄膜中摻雜原子的百分比，測試后調整兩靶的濺射功率得到所需摻雜原子比的薄膜；具體制備步驟為：計算兩靶的沉積薄膜厚度比，兩靶對應薄膜的沉積速率，選取襯底和預處理，確定兩靶的濺射功率，濺射鍍膜，檢測薄膜的化學成分與目標薄膜比照，微調濺射功率制備符合摻雜原子比的Ge2Sb2Te5薄膜。采用本發明的高效制備定摻雜原子比的共濺射薄膜的方法，大大縮短了探索鍍膜工藝參數的實驗周期，本發明適用于任意兩種靶材通過共濺射得到摻雜薄膜的制備。

登錄解鎖全文

聲明：

“基于解析法制備定原子比的摻雜Ge2Sb2Te5相變薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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