一體化微流體泵,屬于生物醫學微流體元器件,集流體驅動、混合,化學反應多功能為一體,以使得微分析系統結構簡化,降低成本。本實用新型包括硅基片和與其鍵合的封底玻璃片,硅基片上采用光刻方法制備泵腔及與其連通的兩個進口擴散管通道、一個出口擴散管通道;硅基片的表面開有液體進水孔和液體出水孔,分別與兩個進口擴散管通道及出口擴散管通道的末端連通;硅基片表面正對泵腔位置粘貼有壓電片;封底玻璃片泵腔位置粘貼有電加熱金屬片。本實用新型讓生物溶液和化學試劑溶液在流動經過微泵泵腔的同時,完成混合和化學反應,從而省去單獨的混合反應腔結構,這使得微分析系統結構大為簡化,成本可望降低20%~30%,并具有更好的工作可靠性。
聲明:
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