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監控晶圓缺陷的方法

763 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:33:26

本發明是關于一種監控晶圓缺陷的方法。該方法是首先提供一晶圓,該晶圓上存在有一缺陷,接著進行一化學處理步驟,以擴大晶圓上的缺陷,之后在晶圓上形成一共形材料層,然后使用掃描儀器找出晶圓上的缺陷。本發明因為采用化學處理步驟,以擴大晶圓上的缺陷處,因此可以彰顯晶圓上的缺陷處,突破了現有的掃描儀器的偵測極限,能夠及早反應出產品上小于奈米級以下的缺陷,不需額外添購昂貴的掃描儀器,即可達到比原先只利用掃描儀器例如是亮場檢知器(Bright field inspector)更好的效果。

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聲明：

“監控晶圓缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

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2 取、制樣安全淺析

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3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:110

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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