本發明涉及敏感技術領域,特別是一種制備酒敏 薄膜的方法。該方法是用等離子增強型化學氣相淀 積法制備氧化鐵酒敏薄膜,其關鍵是參加化學氣相淀 積反應的源物質采用了金屬有機化合物五羰基鐵[Fe (CO)5]。用此方法制備的氧化鐵酒敏薄膜,在 1000ppm濃度下的乙醇氣體中,靈敏度可達50,而在 同樣濃度的城市煤氣,氫氣和液化石油氣等雜氣氣氛 下,其靈敏度分別僅有1.4,2.9和6,而且對于酒精的 最低檢測濃度可達到1ppm以下。具有靈敏度高,選 擇性好,響應恢復時間快等優點。
聲明:
“制備氧化鐵酒敏薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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