一種聚焦離子束加工金屬基硬質涂層透射電鏡原位力學試樣的方法,本發明涉及透射電鏡原位力學試樣的制備方法。本發明要解決現有目前常用的透射電鏡原位力學測試系統無法實現最佳的衍射分析條件和獲得最佳的衍射結果,常用的透射電鏡制樣技術在透射電鏡原位力學測試系統中無法準確分析金屬基硬質涂層材料在原位力學測試過程中變形和斷裂問題。方法:一、預處理;二、電化學拋光處理;三、掃描電鏡觀察;四、聚焦離子束加工;五、銅支架加工,即完成聚焦離子束加工金屬基硬質涂層透射電鏡原位力學試樣的方法。
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