本發明提供一種具有雙鐵電層復合薄膜的光電探測器制備方法,該方法包括:按照化學計量比配置鎳酸鑭底電極、BFMO和BLFO的前驅體溶液。隨后在洗凈的硅基片上經過旋涂和熱處理按順序分別制備鎳酸鑭底電極、BLFO鐵電層和BFMO鐵電層并在頂層濺射上金電極,形成垂直的電極結構及光電探測器。本發明還提供一種光電探測器。本發明能夠實現較高的光電探測性能。
聲明:
“具有雙鐵電層復合薄膜的光電探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)