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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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GaAs基LFET太赫茲紅外光探測器和制備方法

800 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:28:47

本發明公開了一種GaAs基LFET太赫茲紅外光探測器和制備方法，該探測器包括吸收區、阻擋區、源漏區、介電區和柵區六個部分，制備方法包括五個步驟，即通過光刻、離子注入、等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)、熱蒸發技術在高阻GaAs基底依次形成吸收區，源漏區(與阻擋區)，介電區，源漏電極，以及柵區。本發明的優點是：柵區電壓導致吸收區載流子耗盡有效降低了光生電子?空穴對的復合速率，提高了內量子效率，從而提高了傳統雜質光電導型光子探測器的探測率，并且與當前的半導體工藝技術相兼容。

登錄解鎖全文

聲明：

“GaAs基LFET太赫茲紅外光探測器和制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:141

2 取、制樣安全淺析

下載:133

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:111

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:101

5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:99

6 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:98

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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