本發明提供了用于海水溫鹽深三參數同時測量的光纖傳感器及制備方法。在偏移纖芯一側通過飛秒激光刻蝕和化學腐蝕制作凹槽,之后通過旋轉加工平臺,利用飛秒激光改變光纖折射率的特性,在偏移纖芯的另一側包層內寫入一段弧形波導,波導兩端均與纖芯連接,制作出雙馬赫曾德干涉儀(MZI)級聯結構。將該傳感結構封裝后形成傳感器。該雙MZI級聯傳感器的透射光譜在1300nm?1600nm波長范圍內存在3個對比度不同的特征波長,且這3個特征波長對海水溫度、鹽度和深度的響應靈敏度不同,通過特征波長的變化值并結合靈敏度矩陣得出相應的海水溫鹽深信息。本發明提出的傳感元件結構緊湊,機械強度和測量靈敏度較高,是實現海水多參數準確測量的有效手段。
聲明:
“用于海水溫鹽深三參數同時測量的光纖傳感器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)