<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 基于Compact Differential Evolution算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

            基于Compact Differential Evolution算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

            944   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:25:59
            基于Compact?Differential?Evolution算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法,屬于半導體制造裝備技術領域及機械參數測量領域。為了解決現有工件臺微動部分機械參數估計算法精度差的問題。所述方法包括如下步驟:步驟一:根據掩模臺微動臺的機械機構及其理論設計,建立微動臺的理想運動學模型,確定待測機械參數,建立掩模臺微動臺含差模型;步驟二:給定位置輸入,驅動微動臺運動產生位移,將實際輸出位移與通過建立的掩模臺微動臺含差模型計算出的輸出位移值做差,作為導優的目標函數;步驟三:根據目標函數,利用Compact?Differential?Evolution優化學習算法確定待辨識的機械參數。它用于微動臺的機械參數求取。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “基于Compact Differential Evolution算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>