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            石墨烯膜基低頻聲波探測器

            869   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:25:59
            本發明公開了一種石墨烯膜基低頻聲波探測器,該探測器以高強石墨烯膜為主要探測器件,經過組裝設計,形成由石墨烯/導電基底為兩極的電容器。聲波震動,引起石墨烯膜的震動,改變石墨烯膜和導電基底之間的距離,進而引起電容變化,產生電流信號。此高強石墨烯經刻蝕制孔、真空過濾成膜、化學還原、固相轉移、金屬噴涂、中溫碳化、綠氣氯化、高溫石墨化等步驟得到。該薄膜整體為石墨烯結構,片層間有大量層間交聯結構。整體薄膜厚度為20?50nm。此石墨烯膜電導率可控、強度可調,可用作低頻聲波探測器件。
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            “石墨烯膜基低頻聲波探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
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