公開了原位實時等離子腔室狀態監測。提供了用于原位和實時的腔室狀態監測的方法。例如,在一個實施例中,對于腔室中的每個晶片,原位監測所述腔室中的自由基的頻率和波長。所述自由基的所述頻率和所述波長與至少一種選定的化學物質相關聯。將所相關聯的自由基與指數進行比較。所述指數包括所述至少一種選定的化學物質中的每種化學物質的目標范圍。
聲明:
“原位實時等離子腔室狀態監測” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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