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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
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冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
第十三屆全國濕法冶金工程技術交流會
2025綠色低碳冶金技術創新大會
第七屆全國低品位礦產資源高效利用新技術交流會

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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
含鈣鎂脈石礦物的有色金屬礦選礦藥劑發展及應用
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漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
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選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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研磨終點探測方法、裝置及研磨機臺

852 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:23:24

本發明公開了一種研磨終點探測方法，包括如下步驟：發射一激光至晶圓的被研磨層；晶圓對激光進行反射；通過分析經由晶圓反射的反射光的光強信號變化來判定是否到達研磨終點。還公開了研磨終點探測裝置及研磨機臺。本發明利用晶圓的被研磨層與下一層材料反射率的差異性，通過分析反射光的光強變化來判斷是否研磨到下一層反射率不同的材料，當晶圓的被研磨層被局部研磨完露出下層反射率不同的材料時，反射光信號開始變化，當晶圓上被研磨層的全部被研磨完后反射光信號變化趨緩，即可通過研磨終點探測程序抓到研磨終點。由于研磨終點光學探測信號比較明顯，因此探測穩定性和可重復性更高，且可以廣泛適用于半導體制造技術中的多種化學研磨工藝。

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聲明：

“研磨終點探測方法、裝置及研磨機臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:91

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

下載:89

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