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            表面清潔度測試裝置和測試方法

            1296   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:20:09
            本發明公開了一種表面清潔度測試裝置和測試方法,屬于半導體及晶圓、OLED等高精密加工領域的技術領域。它包括背景光源、同向光源、支架、同軸環形光源、棱鏡、棱鏡固定支架、液滴、被測試樣品和成像系統,棱鏡通過頂絲固定螺絲固定到棱鏡固定支架上。通過頂視、側視多視角的同一圖像中成像,實現了UV分析、紅外分析、表面結構分析、3D接觸角分析的有效組合測量,對于評估固體材料的物理化學性質,特別是對于客觀存在的表面粗糙度、化學多樣性和表面結構導致的表面清潔度誤判的解決,提高表面清潔度測試的精度和可靠性,均具有極大提升,在半導體、晶圓、硅片、新材料研究、仿生材料等行業具有非常高的作用,具有極高的推廣價值。
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            “表面清潔度測試裝置和測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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