本實用新型屬于產品檢測裝置,具體涉及一種通過機器視覺技術對太陽能硅晶片表面顏色缺陷進行檢測的裝置,所檢測的對象是硅晶片在經過等離子體增強化學氣相沉積該道工序后其表面顏色的分布信息。檢測裝置包括上料工位、視覺工位和硅片分類工位,視覺工位裝置包括光源、高速相機和工控機;工控機包括內置圖像處理軟件的中央處理器和顯示器;光源采用四根條形白色熒光燈,其均勻分布在燈箱的頂部,燈箱的下面使用漫反射板遮蓋;高速相機采用面陣CCD相機,固定在機架的橫桿上;硅片分類工位裝置是單軸機器人。本實用新型裝檢測置能夠實時在線、穩定準確、高效地檢測硅晶片表面顏色缺陷。
聲明:
“基于機器視覺的太陽能硅晶片顏色自動檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)