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第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
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第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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化學機械拋光的優化方法及裝置

968 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:01:13

本發明提供一種化學機械拋光的優化方法，該方法根據第n片圖形片的動態權重因子、實際去除量、預測拋光速率、拋光時間以及預測補償值預測第n+1片圖形片的預算補償值以及拋光時間，并根據預測得到的預算補償值以及拋光時間對第n+1片圖形片進行化學機械拋光。其中，第n片圖形片的動態權重因子與拋光所用耗材的壽命周期影響因素有關，使得該方法可以在線優化由于拋光耗材不同壽命周期下的拋光速率差異導致的拋光時間算法誤差，有效提高了拋光時間算法的精度。

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聲明：

“化學機械拋光的優化方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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