本實用新型公開了一種新型化學氣相沉積爐爐蓋,包括爐蓋本體,所述爐蓋本體上固定安裝有爐蓋本體上法蘭,所述爐蓋本體上開設有爐蓋本體快冷抽氣口,所述爐蓋本體兩端均安裝有爐蓋本體加強筋,所述爐蓋本體加強筋底端安裝有爐蓋本體大法蘭,所述爐蓋本體內安裝有爐蓋本體安裝板,所述爐蓋本體安裝板底端開設有爐蓋本體中心排氣管,本實用新型的爐蓋本體設有熱電偶檢測口,通過熱電偶檢測口可實現精準的溫度檢測,本實用新型實施例的沉積爐爐蓋在傳統氣相沉積爐結構基礎上,將爐蓋和快冷抽氣環做了集成,減少了制作成本,本實用新型實施例的氣相沉積爐爐蓋與傳統氣相沉積爐爐蓋相比鋼材用量減少30%,降低材料成本的同時,減輕了爐蓋重量。
聲明:
“新型化學氣相沉積爐爐蓋” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)