本發明提供的多元素的化學蒸氣發生裝置及其發生方法。該化學蒸氣發生裝置,包括吸液部、儲液部、至少一個吸液泵、推液泵部、還原劑泵部、氣液分離部、載氣部和混合氣體輸出接口,吸液部、儲液部、推液泵部、還原劑泵部、氣液分離部、載氣部各具有多個通道,各個部分具有的通道數量相同且各自的通道一一對應地連通,通道數量與需進行化學蒸氣發生的元素的種類數量相同。本發明保證了在多種元素同時檢測時,對于每種元素檢測的準確性和可靠性,而且縮短了分析時間、減少了分析成本,提高了分析效率。
聲明:
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