本實用新型提供一種蝕刻化學液配比質量的裝置,包括中間貯槽、緩沖槽、反應室、濃度分析儀、控制器和顯示器;中間貯槽與緩沖槽之間的導管設置有閥門,反應室與緩沖槽之間設置有原料導管,使用中間貯槽將混合的化學液體進行充分循環,打開閥門將循環完全的化學液體輸送到緩沖罐中,反應時抽取緩沖罐內的液體,并通過濃度分析儀進行濃度的分析,濃度分析儀將分析后的數據輸送到控制器中,控制器將獲得的數據傳輸到顯示器上顯示,使得檢測人員知曉化學液體的濃度。同時控制器會將該濃度值與設定的值進行比較,獲得符合條件的化學液體,進而得到所需蝕刻率的濃度值,因此避免了測試成本與產能時間的損失,并提高了檢測的效率。
聲明:
“蝕刻化學液配比質量的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)