<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 化學氣相沉積設備以及化學氣相沉積設備的溫度控制方法

            化學氣相沉積設備以及化學氣相沉積設備的溫度控制方法

            776   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 06:55:31
            一種不需要特定的復雜或昂貴裝置也能夠感測襯托器表面和晶片表面的溫度差異的方法。為了實現此目標,本發明提供一種化學氣相沉積設備,該設備包括:腔室;襯托器,可轉動地布置在所述腔室中并且在該襯托器上側上堆疊晶片;氣體供應器,設置在所述腔室中并且向所述晶片噴射氣體;加熱器,設置在所述襯托器中并且加熱所述晶片;溫度傳感器,設置在所述腔室中并且測量所述襯托器的溫度;轉動識別標志,裝配在與所述襯托器一起一體轉動的位置;轉動識別傳感器,設置在所述腔室中以便判斷所述襯托器的轉動狀態,并且探測所述轉動識別標志;以及控制器,利用轉動識別傳感器和溫度傳感器計算所述襯托器的上側的溫度分布,并且基于所述溫度分布控制所述加熱器。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “化學氣相沉積設備以及化學氣相沉積設備的溫度控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>