一種具有化學試劑循環的清潔裝置,其中可以防止由清潔過程產生的氣泡引起的空氣侵入到循環路徑中的設備氣閘。當化學試劑從溢流罐排出時,螺旋渦流可以根據液位在出口附近產生。提供液位檢測傳感器,以檢測液位已到達沒有產生螺旋渦流的位置,該位置略高于液面高度。當化學試劑被存儲在溢流罐中時,進行化學藥劑清洗,從而在從溢流罐排出的化學試劑中產生氣泡或混合到螺旋渦流中或發送到化學試劑儲存罐的一側。
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