一種真空感應化學氣相沉積爐測溫熱電偶的轉接器,包括導通螺桿和絕緣板;兩個導通螺桿分別插入絕緣板上的兩個螺栓安裝孔內,并用螺母固定;絕緣板密封圈裝入位于轉接器絕緣板上的密封槽內。使用時,將轉接器用連接螺栓固定在爐體側壁開孔的連接法蘭上,并將熱電偶補償導線與溫度顯示和控制儀表連接。通過本發明,將熱電偶的信號傳遞給儀表。熱電偶的保護管的長度從爐體工作區的保溫上蓋板到工作區的溫度監測點,避免了原來熱電偶保護管損壞導致爐體真空狀態的破壞現象出現,并通過轉接器保持爐體真空,由于轉接器不受工作區溫度影響,爐體真空保持功能可靠,所以采用轉接器提高了設備運行的安全性。
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