本發明公開了一種電學測試監控反饋式化學氣相沉積系統及其應用,屬于化學氣相沉積領域。系統包括化學氣相沉積系統和電學測試系統,所述化學氣相沉積系統包括高溫爐,所述高溫爐中的爐腔內設有穿過高溫爐的三通爐管,所述三通爐管設有上方開口,上方開口處的正下方設置有載樣臺;所述電學測試系統包括通過內置導線連接的四探針測試桿和四探針測試儀;所述四探針測試桿與上方開口密封連接。本發明通過對化學氣相沉積系統爐管的改造,使化學氣相沉積系統與電學測試系統結合,進而有效的實現了對樣品生長質量的實時監控以及能夠及時反饋至控制系統以調節生長參數,生成原子層級厚度的樣品,靈活性強,成膜效果好,樣品性能高。
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