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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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高熵能源材料
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譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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在半導體制程中探測化學溶劑泄漏的裝置及方法

979 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:47:32

一種在半導體制程中探測化學溶劑泄漏的裝置,包括:一控制盒,用以接收至少一輸入信號,上述控制盒包括一前面板、一電路板,用以接收至少一輸入信號并觸發一報警信號,上述前面板包括一第一指示器,用以提供上述報警信號,表示探測到化學溶劑泄漏;一托盤,用以搜集泄漏的化學液體,包括多個垂直側邊以及多個腿部,其中至少一腿部是可調整的,使上述托盤的一個角落比上述托盤的其它角落更靠近地面;以及一傳感器,用以探測化學溶劑的泄漏以及傳送上述輸入信號至上述控制盒。

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聲明：

“在半導體制程中探測化學溶劑泄漏的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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