一種包含拉曼光譜原位測量腔的化學氣相沉積裝置,所述裝置包括傳動裝置、用于對薄膜材料進行化學氣相沉積反應的反應腔和用于對薄膜材料進行拉曼光譜原位監測的監測腔,所述反應腔和監測腔相連通,所述反應腔中設置有反應底座,所述監測腔中設置有拉曼光譜監測模塊;所述反應底座用于作為薄膜材料生長的基底;所述傳動裝置用于控制反應底座在反應腔與監測腔之間移動;所述拉曼光譜監測模塊用于對移動到監測腔的薄膜材料進行拉曼光譜原位監測。本發明提供一種包含拉曼光譜原位測量腔的化學氣相沉積裝置,解決了在不影響薄膜生長的條件下對薄膜進行原位拉曼檢測,進而可實時調整工藝以減少缺陷。
聲明:
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