一種化學機械研磨異常探測裝置包括:電動機;逆變器;控制電路,控制逆變器輸出的交流電流及工作與否;轉速傳感器,將電動機的轉速轉換為轉速信號并輸出至控制電路;電流探測器,檢測電動機的交流電流,并且輸出電流信號至中繼控制器,中繼控制器因此向機械研磨控制器輸出驅動信號,機械研磨控制器因此輸出停機信號至控制電路。使得能及時探測到晶片在研磨的過程中發生刮傷或破裂的情況,以減少晶片因研磨受損的數量。
聲明:
“化學機械研磨異常探測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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