本發明提供一種用于化學氣相沉積反應的一體化在線檢測系統,包括:化學反應子系統;進氣子系統,包括氣體質量流量計,與所述化學反應子系統相連接;抽真空子系統,與所述的化學反應子系統相連接;氣體采集子系統,與所述的化學反應子系統相連接;控制子系統,分別與所述的氣體質量流量計、抽真空子系統、氣體采集子系統以及化學反應子系統相連接,用于采集所述氣體質量流量計的流量,采集所述化學反應子系統的壓力值、溫度值、氣體濃度,根據所述的流量、壓力值、溫度值以及氣體濃度進行控制。實現了對化學氣相沉積薄膜過程的實時監控,對工藝參數進行嚴格控制,并對數據進行存儲和顯示,提高可靠性和抗干擾性。
聲明:
“用于化學氣相沉積反應的一體化在線檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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