本發明公開了一種簡便、快速、穩定的氮化硅分析測定方法,依次包括:將氮化鈦或碳氮化鈦試樣用氫氟酸預處理,再加入硝酸溶解獲得試樣溶液;試樣溶液加入硼酸溶液絡合試樣溶液中過量的氟;用電感耦合等離子體原子發射光譜儀測定試樣溶液中硅元素的發射強度,然后根據ρ=AI+B,計算氮化硅分析結果;本發明解決現有化學分析檢測方法存在的操作過程復雜,穩定性差的問題,以適應氮化鈦及碳氮化鈦生產工藝中氮化硅的分析檢測的需要。
聲明:
“氮化鈦或碳氮化鈦中氮化硅量的分析檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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