本發明公開了一種衍射光學元件檢測系統及方法,包括:光源,用于發射光束;透鏡,用于匯聚所述光源發射的光束并投射平行光束,在標定時直接投射到檢測器上,在測定時投射到DOE上;DOE,接收、分束所述平行光束,并投射衍射光束;檢測器,在標定時接收所述透鏡投射的平行光束;在測定時,接收所述DOE投射的衍射光束;控制處理器,與光源及檢測器連接,用于控制光源發射光束以及檢測器采集光束,同時接收來自檢測器采集的光束圖像并對光束圖像進行處理以檢測DOE的性能。通過該系統和方法,可以對DOE進行性能檢測,對批量DOE進行分類,從而提升光學模組的質量與產品的一致性,避免不良產品可能造成的后期危害。
聲明:
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