基于掃描探針顯微鏡的材料耐電暈放電老化性能檢測裝置,涉及一種材料耐電暈放電老化性能檢測裝置。本發明是為了解決現有的針板電暈放電測試裝置在檢測材料放電老化性能時,不能原位的連續檢測材料的變化的問題。導電紙的另一端與導電懸臂的一端連接;導電懸臂懸掛在壓電陶瓷掃描器的上方;掃描探針顯微鏡的探針固定在導電懸臂的另一端;壓電陶瓷掃描器的上端放置有樣品,掃描探針顯微鏡的探針位于樣品的上方;激光器發射的激光入射至掃描探針顯微鏡的探針背面,激光經掃描探針顯微鏡的探針反射至探測器;繼電器、計時器和電流表均串聯在保護電阻和高壓電源之間。本發明適用于材料耐電暈放電老化性能檢測。
聲明:
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