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            物理檢測樣品制取方法

            1096   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 06:14:10
            本發明提供一種物理檢測樣品制取方法,包括:提供一晶圓截塊,所述晶圓截塊包括:依次生長的第一物理層、第二物理層和第三物理層,所述第二物理層與所述第一物理層相接觸的表面為待觀測面;剝離所述第一物理層,以暴露所述待觀測面,從而形成物理檢測樣品。由此制得的物理檢測樣品,其待觀測面位是暴露出來的,即待觀測面不受任何物理層的阻擋,利用掃描電鏡觀測所述物理檢測樣品時,能夠很清楚的觀測待觀測面,由此提高了物理檢測的可靠性。
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            “物理檢測樣品制取方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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