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            > 酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法

            酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法

            1196   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 00:29:15
            本發明涉及一種酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括如下反應路線:其中,M為碳數5~7的環烷基,R1為氫原子或烷基,R2為烷基;所述制備方法包括如下步驟:c)向第一溶劑中通入鹵甲烷,得到含鹵甲烷的第一溶劑溶液;d)在惰性氣體條件下,將金屬鋰和式Ⅳ化合物加入到第一溶劑中混合,滴加步驟c)制備的含鹵甲烷的第一溶劑溶液,攪拌,反應,純化,得到式Ⅲ化合物;f)將式Ⅲ化合物和縛酸劑加入到第二溶劑中混合,并滴加式Ⅱ化合物,經酯化反應,純化,得到式Ⅰ化合物。本發明制備方法得到的樹脂單體為一種酸敏感光刻膠樹脂單體,得到的產物收率高,純度高,雜質少。
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