本發明提供了一種微米級矩形波導的制備方法及系統,保持待加工品與水平方向呈傾斜放置,且傾斜方向與金剛石刀片刀刃第一側邊傾斜方向垂直,保持金剛石刀片豎直方向切割,形成第一劃槽;將待加工品旋轉,使其與水平方向呈傾斜放置,且放置方向與金剛石刀片刀刃第二側邊傾斜方向垂直,保持金剛石刀片豎直方向切割,形成第二劃槽,實現兩條劃槽中間的預留位置形成矩形波導。本發明不需要將微米級鈮酸鋰薄膜層切透,從而得到側壁光滑,易加工的矩形波導。
聲明:
“微米級矩形波導的制備方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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