一種聲表面波增強型深紫外探測器及其制備方法,所述聲表面波增強型深紫外探測器依次包括鈮酸鋰襯底、半導體薄膜及設置于所述半導體薄膜表面的兩對歐姆電極;所述兩對歐姆電極其一用于接收并傳播聲表面波并使其調制薄膜與襯底的能帶結構,以提高光生載流子的數量及傳輸效率,另一則用于收集光生載流子并轉化為電信號輸出,并接通外接參數分析儀評估探測器對于光輻射的響應度、探測率等一系列性能指標。本發明的聲表面波增強型深紫外探測器能夠通過聲表面波的外部刺激顯著增強探測器的響應度等一系列性能指標。
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